Temescal真空鍍膜機

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產品概述

Temescal真空鍍膜機是Temescal公司明星產品，Temescal成立于1952年，是真空電子束蒸鍍技術的***，提供*先進的精密鍍膜系統以及電子槍組件。Temescal在準確控制材料蒸氣云分布方面擁有豐富的經驗與獨到的技術，典型材料如鈦、鉑、金、鈀、銀、鎳、鋁、鉻、銅、鉬、錫、二氧化硅、氧化銦錫，可獲得優異的薄膜沉積均勻性和一致性。

產品詳細

Temescal真空鍍膜機產品概述

Temescal成立于1952年，是真空電子束蒸鍍技術的***，提供*先進的精密鍍膜系統以及電子槍組件。Temescal在準確控制材料蒸氣云分布方面擁有豐富的經驗與獨到的技術，典型材料如鈦、鉑、金、鈀、銀、鎳、鋁、鉻、銅、鉬、錫、二氧化硅、氧化銦錫，可獲得優異的薄膜沉積均勻性和一致性。
Temescal總部在美國加州，擁有獨立完善的設計、制造、銷售和研發部門，其關鍵技術優勢著重體現于成套沉積系統和電子槍組件。在高亮度LED、GaAs基無線通信芯片、光通訊器件、太陽能光伏、微機械（MEMS）和聲表器件（SAW）等領域擁有很高的聲譽和眾多杰出用戶。
Temescal上乘的工藝實現能力包括：高均勻性多層膜系工藝設計，*先進的大功率電子槍及控制電源，無死角操作的雙開門設計，潔凈無油真空系統，多種精密工件架，全自動薄膜工藝控制系統，等等。

Temescal真空鍍膜機產品特點

1. 業內獨有的真空鎖式批量蒸鍍系統
2. 整個電子束蒸發源可與腔室分離并轉到設備框架之外
3. 高性能電子槍和控制器
4. 所有OEM組件均來自世界**供應商
5. 豐富的剝離(Lift-off)工藝經驗
6. 高均勻性和高材料利用率
7. 可靠靈活的全自動控制系統
8. 設備性能完全滿足24/7的嚴格的FAB生產要求
9. 專業的工藝研發和技術支持

Temescal真空鍍膜機技術參數

主要型號
1. FC4400
Temescal*大型標準系統，真空鎖結構設計，適合150mm以上基片工藝的產能*大化要求
2. FC3800
Temescal大型標準系統，真空鎖結構設計，適合各種高產能應用要求
3. FC/BCD2800
Temescal中型生產設備，真空鎖結構可選，適合100mm~150mm晶圓工藝生產
4. FC/BJD2000
Temescal小型標準系統，尤其適合小規模生產和研發

設備產能

設備型號: FC/BJD-2000 FC/BCD-2800 FC-3800 FC-4400
2inch 晶圓: 42 N/A N/A N/A
3inch 晶圓: 17 47 N/A N/A
100mm 晶圓: 13 25 53 55
150mm 晶圓: 5 12 25 30
200mm 晶圓: N/A 6 14 15