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ATV真空回流共晶焊接系統
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產品名稱:
ATV真空共晶回流系統
產品概述
產品詳細
產品相關
產品概述
ATV真空共晶回流系統是德國ATV公司榮譽產品,ATV公司于1972年成立于德國慕尼黑,業務專注于真空熱處理工藝設備,主要應用在混合電路、半導體和表面貼裝領域。
產品詳細
ATV真空共晶回流系統產品概述
ATV
公司于
1972
年成立于德國慕尼黑,業務專注于真空熱處理工藝設備,主要應用在混合電路、半導體和表面貼裝領域。
上乘的焊接系統,帶快速退火功能的焊接回流爐
(SRO)
,是一個多用途
“
冷壁
”
工藝焊爐。
SRO
是
R&D
,工藝研發,由低至高產能生產的理想選擇。全自動生產能力可有多種方式實現:與粘片機在線集成、與粘片機系統集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統的襯底傳送。主要應用于無缺陷焊接和產生上乘的無助焊劑焊接,如
IGBT
封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、
MEMS
及真空封裝。
ATV真空共晶回流系統產品特點
1.
*高控溫為70
0
℃
(
更高可選
)
滿足所有軟釬焊工藝要求
2.
快速準確溫度控制
3.
可編程工藝過程控制
4.
氦氣漏率
5×10^-9mbarL/s,
氧氣含量可控在
2ppm
內
(5mbar)
5.
真空可達
1×10^-5mbar(
分子泵
)
6.
可選腔體正壓模式
7.
多種工藝氣氛:
N2
、
N2/H2
、純
H2
、
HCOOH(N2
載氣
)
8. ArH2
等離子輔助工藝
9.
腔室頂蓋配有觀察窗
10.
完善系統狀態監控和**互鎖設計
技術參數
型號
加熱板尺寸
加熱功率
SRO-700 230×217 6kw
SRO-714 230×217 6kw
SRO-706 313×240 9kw
深圳辦地址:
深圳市寶安區翻身路
48
區理想居
A
棟
21E
電話: 86-755-61536512,18938900217
傳真: 86-755-61536610
網址:
http://www.micropowergroup.com
郵件:bowenzhang@micropowergroup.com
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