HHV/EDWARDS真空鍍膜系統

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HHV/EDWARDS真空鍍膜系統是英國Edwards公司榮譽產品。HHV Auto系列是一種多功能鍍膜設備，設計用于滿足科研工作者和電子顯微學家的需求。 Auto系列可配備各種真空系統、真空腔室和標準化工藝附件，提供一系列實驗技術以滿足現代化實驗室的需要。

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HHV/EDWARDS真空鍍膜系統產品概述

HHV Auto系列是一種多功能鍍膜設備，設計用于滿足科研工作者和電子顯微學家的需求。

Auto系列可配備各種真空系統、真空腔室和標準化工藝附件，提供一系列實驗技術以滿足現代化實驗室的需要。

Auto3系列可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前開門式不銹鋼箱式腔室。FL400腔室具有額外的高度與寬度，適用于安裝較多的工藝附件。

客戶可選擇的模塊化工藝附件，包括熱阻蒸發源及其控制電源、3kW EB3電子束蒸發源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監控儀等。

真空系統由觸屏PLC控制和監控，易于操作；高真空泵選擇包括擴散泵、渦輪分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時保護泵和樣品。

HHV真空鍍膜系統產品特點

觸屏PLC自動控制真空系統

多種可選薄膜沉積源和電源

多種可選樣品夾具

多種可選真空腔室

智能高真空閥門保護泵及樣品

緊湊型設計，*小化空間占用

無需壓縮空氣

完整的**使用互鎖保護

HHV真空鍍膜系統技術參數

極限真空

600 l/s 擴散泵：2×10E-7 mbar

500 l/s 渦輪泵：2×10E-7 mbar

250 l/s 渦輪泵：2×10E-7 mbar

抽真空時間

大氣壓到1×10E-5 mbar：4分鐘

大氣壓到1×10E-6 mbar：25分鐘

深圳辦地址：深圳市寶安區翻身路48區理想居A棟21E
電話: 86-755-61536512
傳真: 86-755-61536610

網址: http://www.micropowergroup.com

郵件:bowenzhang@micropowergroup.com

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