ATV真空共晶回流系統

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上乘的ATV真空共晶回流系統，帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO)，是一個多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D，工藝研發，由低至高產能生產的理想選擇。全自動生產能力可有多種方式實現：與粘片機在線集成、與粘片機系統集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統的襯底傳送。主要應用于無缺陷焊接和產生上乘的無助焊劑焊接，如IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。

產品詳細

ATV真空共晶回流系統產品概述

ATV公司于1972年成立于德國慕尼黑，業務專注于真空熱處理工藝設備，主要應用在混合電路、半導體和表面貼裝領域。
上乘的焊接系統，帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO)，是一個多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D，工藝研發，由低至高產能生產的理想選擇。全自動生產能力可有多種方式實現：與粘片機在線集成、與粘片機系統集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統的襯底傳送。主要應用于無缺陷焊接和產生上乘的無助焊劑焊接，如IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。

ATV真空共晶回流系統產品特點

1. *高控溫為700℃(更高可選)滿足所有軟釬焊工藝要求
2. 快速準確溫度控制
3. 可編程工藝過程控制
4. 氦氣漏率5×10^-9mbarL/s,氧氣含量可控在2ppm內(5mbar)
5. 真空可達1×10^-5mbar(分子泵)
6. 可選腔體正壓模式
7. 多種工藝氣氛：N2、N2/H2、純H2、HCOOH(N2載氣)
8. ArH2等離子輔助工藝
9. 腔室頂蓋配有觀察窗
10.完善系統狀態監控和**互鎖設計

ATV真空共晶回流系統技術參數

型號加熱板尺寸加熱功率
SRO-702 147×217 4kw
SRO-704 230×217 6kw
SRO-706 313×240 9kw