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HHV真空鍍膜系統(tǒng)
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產(chǎn)品名稱:
Auto306
產(chǎn)品概述
產(chǎn)品詳細(xì)
產(chǎn)品相關(guān)
產(chǎn)品概述
Auto306真空鍍膜系統(tǒng)能選配多種真空系統(tǒng)、真空腔室、蒸發(fā)鍍膜附件,可滿足研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的各種需求。用戶可選擇單個(gè)熱阻源,或多個(gè)蒸鍍?cè)矗沟迷诓黄茐恼婵窄h(huán)境的情況下進(jìn)行多層膜的沉積。一系列的樣品夾具、遮擋板、基板加熱器、膜厚監(jiān)測和控制可選擇裝配在Auto306上,以滿足不同實(shí)驗(yàn)應(yīng)用。
產(chǎn)品詳細(xì)
品牌概述
HHV Ltd 成立于1960年,隸屬于印度班加羅爾HHV Pvt., 是一家歷史*悠久的薄膜和真空技術(shù)公司. 該公司擁有眾多研究所,大學(xué)院校及工業(yè)生產(chǎn)客戶。近年來,HHV Pvt成為Edwards的制造商,生產(chǎn)如Auto306, Auto500 和TF600 等現(xiàn)代薄膜沉積系統(tǒng)。.
應(yīng)用領(lǐng)域
Auto306
用于研究與開發(fā)
Auto
能選配多種真空系統(tǒng)、真空腔室、蒸發(fā)鍍膜附件,可滿足研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的各種需求。用戶可選擇單個(gè)熱阻源,或多個(gè)蒸鍍?cè)矗沟迷诓黄茐恼婵窄h(huán)境的情況下進(jìn)行多層膜的沉積。一系列的樣品夾具、遮擋板、基板加熱器、膜厚監(jiān)測和控制可選擇裝配在
Auto306
上,以滿足不同實(shí)驗(yàn)應(yīng)用。
模塊化的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得用戶可在后期增加額外的工藝附件以強(qiáng)化
Auto306
的功能。
Auto306
應(yīng)用于電子顯微鏡
Auto306
可選用一系列的工藝腔室、工藝附件、真空系統(tǒng),為電子顯微鏡用戶提供相關(guān)的樣品制備技術(shù)滿足*先進(jìn)的透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡的需要。
產(chǎn)品特點(diǎn)
Auto306
可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室,也可以配置通用的
FL400
前開門式不銹鋼箱式腔室。
FL400
腔室具有額外的高度與寬度,適用于安裝較多的工藝附件。
客戶可選擇的模塊化工藝附件,包括熱阻蒸發(fā)源及其控制電源、
3kW EB3
電子束蒸發(fā)源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監(jiān)控儀等。
真空系統(tǒng)由觸屏
PLC
控制和監(jiān)控,易于操作;高真空泵選擇包括擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、冷凝泵,并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時(shí)保護(hù)泵和樣品。
特點(diǎn)和優(yōu)勢
觸屏
PLC
自動(dòng)控制
真空系統(tǒng)
多種可選薄膜沉積源和電源
多種可選樣品夾具
多種可選真空腔室
智能高真空閥門保護(hù)泵及樣品
緊湊型設(shè)計(jì),*小化空間占用
無需壓縮空氣
完整的**使用互鎖保護(hù)
技術(shù)參數(shù)
極限真空
600 l
/s
擴(kuò)散泵:
2
×
10E-7 mbar
500 l
/s
渦輪泵:
2
×
10E-7 mbar
255 l
/s
渦輪泵:5
×
10E-7 mbar
抽真空時(shí)間
大氣壓到
1
×
10E-5 mbar
:
4
分鐘
大氣壓到
1
×
10E-6 mbar
:
25
分鐘
水冷機(jī): 75l/h 15-20℃
液氮容積:
1.4L
Auto306真空鍍膜系統(tǒng)中國代理創(chuàng)世杰科技有限公司
網(wǎng)址:
http://www.micropowergroup.com
郵件:bowenzhang@micropowergroup.com
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