Auto500真空鍍膜系統(tǒng)是用于研究和預(yù)生產(chǎn)的多用途,前裝載的沉積系統(tǒng). 腔體可容納大尺寸基板,在不損失真空的環(huán)境下進(jìn)行熱阻蒸發(fā),電子束蒸發(fā)以及濺射工藝. 真空選件包含擴(kuò)散泵,渦輪分子泵,干泵及冷凝泵
|
品牌概述
|
|
HHV Ltd 成立于1960年,隸屬于印度班加羅爾HHV Pvt., 是一家歷史*悠久的薄膜和真空技術(shù)公司. 該公司擁有眾多研究所,大學(xué)院校及工業(yè)生產(chǎn)客戶。近年來,HHV Pvt成為Edwards的制造商,生產(chǎn)如Auto306, Auto500 和TF600 等現(xiàn)代薄膜沉積系統(tǒng)。.
|
 應(yīng)用領(lǐng)域
|
|
Auto500 用于DC和RF濺射
Auto500可被裝配為研究型濺射系統(tǒng),設(shè)備可安裝*多3個(gè)濺射源同時(shí)允許用戶選擇DC和RF電源。工藝氣體和工裝夾具可選為工藝提供了*大便利.
Auto500多工藝應(yīng)用
Auto500 可適應(yīng)多種應(yīng)用. FL500大型腔室可容納EB3電子束蒸發(fā)源,濺射源和熱阻蒸發(fā)源,使用戶在不破壞真空的環(huán)境下運(yùn)用不同的技術(shù)進(jìn)行多次膜沉積. 系統(tǒng)還可提供輝光放電清洗和基板加熱以及膜厚監(jiān)測和控制.
|
|
產(chǎn)品特點(diǎn)
|
|
Auto500多功能沉積系統(tǒng)
Auto500是用于研究和預(yù)生產(chǎn)的多用途,前裝載的沉積系統(tǒng). 腔體可容納大尺寸基板,在不損失真空的環(huán)境下進(jìn)行熱阻蒸發(fā),電子束蒸發(fā)以及濺射工藝. 真空選件包含擴(kuò)散泵,渦輪分子泵,干泵及冷凝泵a.
Auto500 用于熱阻蒸發(fā)及電子束蒸發(fā)
-
400mm 和500mm寬帶水冷裝置的不銹鋼腔室
-
玻璃鐘罩式和玻璃圓筒式腔室
-
單一或多個(gè)熱阻蒸發(fā)源, 4個(gè)熱阻源安裝塔
-
3kW 或 6kW 電子槍
-
固定和選擇工件夾具
-
高溫基板加熱系統(tǒng)
-
蒸發(fā)源和基板擋板
-
輝光放電清洗
-
膜厚監(jiān)測
-
真空鎖選件
|
|
技術(shù)參數(shù)
|
|
真空系統(tǒng)
600l/s 擴(kuò)散泵
500l/s 渦輪分子泵
450l/s 干泵和渦輪分子泵
1500l/s 冷凝泵
14.3m3/h 油封旋片泵和液氮冷井.
觸屏式PLC 真空系統(tǒng)控制
自動(dòng)高真空工藝閥門保護(hù)
完善的**互鎖
Auto500 CE認(rèn)證
|
Auto500真空鍍膜系統(tǒng)中國代理創(chuàng)世杰科技有限公司
傳真: 86-755-61536610
網(wǎng)址: http://www.micropowergroup.com
郵件:bowenzhang@micropowergroup.com